早在1886年，美国即发布过第一个TUF专利，1914年的专利认为TUF的流量与频率有关。美国的第一台TUF是在1938年开发的，它用于飞机上燃油的流量测量，只是直至二战后因喷气发动机和液体喷气燃料急需一种高精度、快速响应的流量计才使它获得真正的工业应用。如今，它已在石油、化工、科研、国防、计量各部门中获得广泛应用。
流量测量最早是由瑞士人开始的，在1738年，瑞士著名的物理学家丹尼尔?伯努利以伯努利方程为基础，利用了差压法测量了水流量。后来，意大利物理学家文丘里又用文丘里管测量了流量，并发表了研究成果。1886年，美国人赫谢尔应用文丘里管制成了测量水流量的的实用测量装置。
20世纪初期到中期，原有的测量原理逐渐走向成熟，人们不再将思路局限在原有的测量方法上，而是开始了新的探索。1910年时，美国人开始了槽式
流量计的研究工作，这种流量计是用来测量明沟中水流量的。1922年，帕歇尔将水槽测量改革为帕歇尔水槽。槽式流量计发展的同时，美籍匈牙利人卡门正在研究涡街理论，1911年到1912年，他提出了卡门涡街新理论。
到了30年代，又出现了探讨用声波测量液体和气体的流速的方法声波测量流量的方法，但到第二次世界大战为止未获得很大进展，直到1955才有了应用声循环法的马克森流量计的问世，用于测量航空燃料的流量。
1945年，科林用交变磁场成功的测量了血液流动的情况。
20世纪的60年代以后，测量仪表开始向精密化、小型化等方向发展。例如，为了提高了差压仪表的精确度，出现了力平衡差压变送器和电容式差压变送器；为了使电磁流量计的传感小型化和改善信噪比，出现了用非均匀磁场和低频励磁方式的
电磁流量计，此外，具有宽测量范围和无活动检测部件的实用卡门涡街流量计也在70年代问世。
随着集成电路技术的迅速发展，具有锁相环路技术的
超声（波）流量计也得到了普遍应用，微型计算机的广泛应用，进一步提高了流量测量的能力，如激光多普勒流速计应用微型计算机后，可处理较为复杂的信号。
